Park NX20 300mm
可用于 300mm晶片圓測(cè)量和分析的自動(dòng)化納米測(cè)量工具
Park NX20 300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機(jī)動(dòng)化。新升級(jí)的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)，可有效地檢測(cè)整個(gè)300mm晶圓，且無(wú)需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動(dòng)XY工作臺(tái)，但Park的創(chuàng)新性振動(dòng)隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。
專為大樣品晶圓檢測(cè)而建
NX20 300 mm進(jìn)行了全新設(shè)計(jì)，可達(dá)到大樣品的測(cè)量。整個(gè)300mm晶圓區(qū)域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測(cè)量分析。這開(kāi)啟了一個(gè)全新的自動(dòng)化測(cè)量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡(jiǎn)便、更精確地開(kāi)展工作。
靈活的300mm樣品吸盤(pán)
Park NX20 300mm真空吸盤(pán)支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓，讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品。
300mm XY軸工作臺(tái)
機(jī)動(dòng)化的300mm XY軸工作臺(tái)允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動(dòng)原子力顯微鏡的測(cè)量位置。
NX20 支持300mm樣品臺(tái)，性能已被證實(shí)
因其的易用性和自動(dòng)化以及不受影響的精度，NX20已是FA、QA和QC工程師的。憑借其支持300mm電動(dòng)XY軸工作臺(tái)的擴(kuò)大平臺(tái)，NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以的精度檢測(cè)更大的樣品。
Park SmartScan™讓精確測(cè)量更為簡(jiǎn)單
Park NX20配備了我們的SmartScan操作系統(tǒng)，使其成為市場(chǎng)上最易于使用的原子力顯微鏡之一。通過(guò)直觀且極為強(qiáng)大的界面，即便是未經(jīng)培訓(xùn)的用戶無(wú)需協(xié)助也可快速掃描大樣品。這使高級(jí)工程師能夠集中精力解決更大的問(wèn)題和開(kāi)發(fā)更好的解決方案。
a在完整300mm晶圓上掃描多個(gè)位點(diǎn)
SmartScan™允許用戶從位點(diǎn)到位點(diǎn)和樣品到樣品的層面上，借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式，進(jìn)行自動(dòng)順序測(cè)量與表面形態(tài)、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時(shí)的用戶便利性和生產(chǎn)效率。
b強(qiáng)大的工作創(chuàng)建功能
格式創(chuàng)建流程簡(jiǎn)單，允許工程師設(shè)置每個(gè)批次的位置、名稱、數(shù)量和類型所定義的預(yù)設(shè)。
針對(duì)廣泛應(yīng)用性進(jìn)行優(yōu)化
NX20 300mm為眾多應(yīng)用提供自動(dòng)格式的原子力顯微鏡測(cè)量，為納米級(jí)的樣品提供高級(jí)測(cè)量和分析。具有粗糙度、高度和深度測(cè)量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測(cè)大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇。
Specification
Scanner
XY scanner: 100 μm × 100 μm
Z scanner: 15 μm, (30 μm optional)*
Stage
XY travel range: 300 mm x 300 mm
Z travel range: 25 mm
Focus travel range: 8 mm
Precision encoder for all axes* (optional)
Electronics
ADC: 18 channels
4 high-speed ADC channels (50 MSPS)
24-bit ADCs for X, Y, and Z position sensor
DAC: 12 channels
2 high-speed DAC channels (50 MSPS)
20-bit DACs for X, Y, and Z positioning
3 channels of integrated lock-in amplifier
Vision
Direct on-axis vision of sample and cantilever
Coupled with 10x objective lens (20x optional)*
Field-of-view: 480 x 360 μm
CCD: up to 5Mpixel
Sample Mount
& Size
Vaccum groove holder:
100, 150, 200, 300 mm wafers, small sample Magnetic sample holder Up to 20 mm thickness
Physical
Information
Dimension:
1220 mm (W) × 1170 mm (D) × 1470 mm (H)
Software
Park SmartScan
AFM system control and data acquisition software
Auto mode, Manual mode
Program mode for recipe-automated, sequential multiple-site measurement AFM operation
Options/Modes*
Various options are available for wide range applications
